减震台适用于各种精细类仪器，作业是为仪器削减轰动，由此削减测量误差，减震台是一款紧凑型有源减振体系，可用于抵消作业环境对高灵敏度精细设备发生的不必要振荡，以进步精细设备的作业功能，运用简洁，具有优异才能的隔振功能及通用性。

  减震台适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！

  减振台选用减振技能，能够阻隔6个空间方向的振荡（包含水平方向和笔直方向），自动减振台运用控制器内的压电加快传感器将外界振荡的压力信号转换为电信号发送至阻隔模块中的压电换能器中，随后压电换能器将发生一个与传入压力巨细持平，方向相反的压力信号来消除传入振荡。减振体系运用一个反应回路消除隔振体系的机械共振。

  减震台通常是运用三个串联的隔振器：歪斜运动隔振器在水平运动隔振器的顶部，水平隔振器在笔直隔振器的顶部。笔直运动隔振器如图1所示，它运用一个传统的绷簧，连接到一个由两个曲折件组成的NSM上，两个曲折件在它们的内端连接到绷簧上，并在它们的外端被支撑，而且经过力P被紧缩加载。绷簧被分量W紧缩，在减震台的作业方位上，如图1所示。减震台的刚度是K=KS-KN，其间KS是绷簧刚度，KN是负刚度的巨细，负刚度是挠曲和载荷P规划的函数。当绷簧支撑分量W时，能够使隔振器的刚度趋于零。

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